UV光氧催化廢氣凈化該技術通過特定波長的UV激發光源產生不同能量的光量子；廢氣物質對該光量子的強烈吸收，在大量攜能光量子的轟擊下使廢氣物質分子解離和激發，空氣中的氧氣和水分及外加的臭氧在該光量子的（分解）作用下可產生大量的新生態氫、活性（游離）氧和羥基氧等活性基團；因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧對紫外線光束照射分解后的有機物具有強的氧化作用；部分廢氣物質也能與活性基團反應，降解轉化為低分子化合物、CO2和H2O 等無害物質，從而達到凈化廢氣的目的。

UV光氧催化廢氣凈化UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧易與氧分子聯系生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進揮發性廢氣的分化。在UV設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以裂解小于該能量的揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。

在UV光氧催化氧化廢氣設備中增加納米級其他活性資料，將活性資料給予紫外線照耀，活性資料可以吸收大量的光能，于外表發作鼓勵進而生成h+（空穴）與e-（電子），而空穴與電子所具有的氧化復原才能，可與氧、水發作反響，生成具有強氧化才能的·OH（氫氧根自由基）與·O2-（陰氧離子）。·OH氧化電位適當高，可以氧化揮發性廢氣中的電子，推進無光吸收才能物質的氧化分化。研討發現，在紫外光的能量以及納米活性催化氧化作用下，揮發性廢氣在短短2-3秒的時刻內就可以被充分分化。光氧催化技能是在外界可見光的作用下發作催化作用，以半導體及空氣為催化劑，以光為能量，將物降解為CO2和H2O及其它成份，廢臭氣體通過處理后可到達凈化的理想的作用。因為在光催化氧化反響過程中無任何增加劑，所以不會發作二次污染，運轉本錢方面僅僅用到電能，無需常常替換配件，對于公司、企業來說使用上是適當的節能環保。