光氧催化廢氣處理設備光催化氧化利用人工紫外線燈管產生的真空波紫外光作為能源來活化光催化劑，驅動氧化一還原反應，而且光催化劑在反應過程中并不消耗，利用空氣中的氧作為氧化劑，有效地降解有毒有害廢臭氣體成為光催化節約能源的特點。

分子惡臭化合物的分子鏈在紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*（活性氧）+O2---O3（臭氧），臭氧對有機物具有*的氧化作用，對工業廢氣及其它刺激性異味有明顯的清理效果。

光氧催化廢氣處理設備主要利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，裂解工業廢氣如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化 碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物的分子鏈在高能紫外線的光束的照射下降解轉變成低分子 化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子及水分子產生游離氧（活性氧）和OH自由基，因游離氧和所攜正負電子不平衡 所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），臭氧對有機物具有*的氧化作用，對工業廢 氣及其它刺激性異味有的清除效果。